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晶圓ID激光標刻設備

全自動晶圓激光標刻機主要是對各種硅晶圓、藍寶石玻璃晶圓、SiC 晶圓進行精密 ID 標記;適用于 4inch,6inc,8inc 晶圓。

產品描述

產品特點:

• 料盒上下料方式,取料,打標,放料回原位。

• 全自動上下料,視覺或者自動尋邊機構定位,加工效率高。

• 設備體積微小,使用方便。

• 自帶自動檢測料盒功能,自主計數 Mapping 功能,可雙面打標。

• 晶圓機械手完成設備內的晶圓片運轉;JEL/ 首鐳自主機械手。

 

產品應用領域:

全自動晶圓激光標刻機主要是對各種硅晶圓、藍寶石玻璃晶圓、SiC 晶圓進行精密 ID 標記;適用于 4inch,6inc,8inc 晶圓。

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