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晶圓ID激光標(biāo)刻設(shè)備

全自動晶圓激光標(biāo)刻機(jī)主要是對各種硅晶圓、藍(lán)寶石玻璃晶圓、SiC 晶圓進(jìn)行精密 ID 標(biāo)記;適用于 4inch,6inc,8inc 晶圓。

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品特點(diǎn):

• 料盒上下料方式,取料,打標(biāo),放料回原位。

• 全自動上下料,視覺或者自動尋邊機(jī)構(gòu)定位,加工效率高。

• 設(shè)備體積微小,使用方便。

• 自帶自動檢測料盒功能,自主計(jì)數(shù) Mapping 功能,可雙面打標(biāo)。

• 晶圓機(jī)械手完成設(shè)備內(nèi)的晶圓片運(yùn)轉(zhuǎn);JEL/ 首鐳自主機(jī)械手。

 

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:

全自動晶圓激光標(biāo)刻機(jī)主要是對各種硅晶圓、藍(lán)寶石玻璃晶圓、SiC 晶圓進(jìn)行精密 ID 標(biāo)記;適用于 4inch,6inc,8inc 晶圓。

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